用于研究、自动化应用的旋转运动工作台

Griffin Motion的360度连续行程RTS-DD系列旋转运动平台专为各种实验室，工厂自动化和半导体加工应用而设计，如检测，激光打标和加工，光学定位，晶圆对准，和速率表，平移和倾斜，和光束转向操作。它们具有很强的平台角精度(30弧秒)，重复性(3弧秒)和分辨率(0.324弧秒)，此外还有高角速度(480度/秒)，强轴向和径向跳动(5µm)，以及典型的摆动(10弧秒)。

RTS-DD系列旋转台具有紧凑的设计，有助于最大限度地减少与另一个运动轴结合使用时的误差。它还具有无刷直接驱动伺服电机，消除了间隙，并通过消除整个阶段的滑动摩擦来提高可靠性。该系列还具有高分辨率的光学编码器，具有用于寻的精确索引标记，以及30mm通孔，可用于广泛的晶圆卡盘的真空或高压线路布线。

格里芬运动

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