直线运动平台用于扫描，加工应用

Griffin Motion的高速LM3系列300mm行程精密直线运动平台专为检测，扫描，光学定位，激光打标和加工应用而设计。这些紧凑，低轮廓的直线电机工作台在行程方面具有很强的精度(15µm)，重复性(1µm)，平整度(5µm)和直线度(5µm)，并实现高达900mm/s的高线速度。这使得它们在工厂自动化和半导体加工设备中很有用。LM3系列300毫米行程精密线性运动工作台的其他功能包括无铁线性伺服电机和循环球线性方式，可实现平稳运动和速度控制。它们还具有用于苛刻工业应用的侧边密封硬外壳和高分辨率(0.1 μ m)线性SS刻度编码器。其他功能还包括带家用和集成电缆管理的光限位开关，以简化设计。该系列也可以堆叠以创建XY运动。

格里芬运动

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