定位应用的运动平台

格里芬的CXY-BS系列150mm精密XY运动平台是显微镜，检测，晶圆加工，微量滴定板加工，激光打标和光学定位应用的理想选择。该滚珠丝杠传动平台具有正交性和平行性，可实现150mm的精确XY行程，具有10 μ m线性精度和1 μ m线性重复性。该平台的线速度可达150mm/秒，适用于工厂自动化和半导体加工设备。它还具有集成的无刷伺服电机，直接耦合到零间隙精密地球螺钉。滚珠丝杠提供操作和速度控制，与电机联轴器相比，这种配置允许更紧密的控制回路和更小的总体占地面积。该平台还具有交叉滚子轴承，高分辨率(0.1 μ m)线性SS刻度编码器，光学限位开关和可选的安全制动器。

格里芬运动

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