并联压电定位台

Aerotech公司的QNP2系列XY，平行运动学，压电定位平台旨在提供亚纳米分辨率，高动力学和几何性能在一个紧凑，低调的包。QNP2-100-XYA具有50 mm x 50 mm的透明孔径，闭环行程高达100µm x 100µm(开环行程为120µm x 120µm)。QNP2专为光学显微镜、扫描探针显微镜、x射线透射显微镜等应用而设计，以及其他需要双面部分访问的应用。QNP2压电工作台采用平行运动弯曲和计量设计的多轴精度。高刚度和谐振频率的设计，使特殊的工艺吞吐量和快速闭环响应。所有QNP2压电级均可提供闭环反馈(-C)或开环(无反馈)。独特的电容式传感器并行计量设计直接测量定位支架的输出，实现0.15 nm分辨率，0.01%线性度和1 nm双向重复性。一个可选的安装板，允许直接安装到英制或公制面包板光学表，和一个坚实的桌面可用。QNP2压电阶段也提供自定义材料和真空制备版本。

Aerotech

www.aerotech.com

- CFE传媒编辑。查看更多控制工程数控和运动控制产品．

您是否具有本内容中提到的主题的经验和专业知识?你应该考虑为我们的CFE媒体编辑团队做出贡献，并获得你和你的公司应得的认可。点击在这里开始这个过程。