六脚衍射，传感器测试应用

Aerotech的HEX500-350HL高负载、精密六足机专为x射线衍射、传感器测试和高力设备操作等应用而设计。HEX500-350HL由六个高精度支柱驱动，这些支柱由精密预紧轴承、滚珠丝杠和驱动组件组成。HEX500-350HL由交流无刷无槽伺服电机驱动，最大限度地提高设备寿命和性能。伺服电机直接耦合到执行器滚珠丝杠，与使用皮带或柔性联轴器的竞争设计相比，其设计能够增加驱动刚度，更高的定位精度和最小的增量运动(XYZ为20 nm， θxθyθz为0.2 μrad)。

支柱枢轴接头设计为提供低摩擦和高刚度，提高整体六足性能。HEX500-350HL平台和底座可以根据用户特定的功能或安装模式轻松修改。HEX500-350HL在平台和底座上都设计了直径150毫米的透明孔，以便从底部进入工件。底座设计有安装孔，可直接适应英制或公制光学表。六足机器人还可以真空制备，用于同步加速器样品或光学调整，半导体制造和检测，或卫星传感器测试等要求苛刻的应用。

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