用于扫描和光学应用的压电纳米定位台

Aerotech公司的QFocus QF1压电纳米定位台具有显微镜物镜和光学定位，在高速下具有纳米级精度。QF1还具有电容式传感器反馈，是专为苛刻的扫描应用，显微镜，或其他光学应用，要求高精度和吞吐量。QF1采用精密弯曲导轨，采用有限元分析优化，以确保高刚度和长设备寿命。最终的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺吞吐量和快速闭环响应。QF1的设计为关键的显微镜和光学定位应用提供了优异的几何性能(直线度和角度误差)。QF1采用电容式传感器设计，具有亚纳米分辨率和强线性度的闭环反馈选项。电容式传感器还可以直接测量定位支架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。当与Aerotech的q系列控制器和驱动器相结合时，QF1表现出亚纳米级的定位分辨率和位置稳定性。QF1也可与螺纹适配器，以适应大多数显微镜和物镜，并可与清晰孔径高达29毫米。

Aerotech

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