综合直线电机台

Aerotech的平面_{戴斯。莱纳姆:}-系列提供几何和动态性能的应用范围从高精度表面轮廓测量到高速半导体和LED晶圆刻划。

的平面_{戴斯。莱纳姆:}XY设计允许平面几何性能的应用，其中直线度和平整度的运动是至关重要的。平面_{戴斯。莱纳姆:}结构元件针对高动态和高刚度进行了优化，以满足最苛刻的动态应用。Planar能够达到1米/秒的速度和1.5克的加速度_{戴斯。莱纳姆:}实现高通量，高精度的加工，从而获得卓越的工艺产量和低的总拥有成本。与使用循环轴承的竞争产品不同，这种设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承为最具挑战性的扫描应用提供了理想的平稳运动。

Planar的核心_{戴斯。莱纳姆:}是Aerotech公司专有的直驱技术。与其他具有竞争力的螺旋电机和直线电机设计相比，这种驱动技术具有无与伦比的性能。

的平面_{戴斯。莱纳姆:}-200XY和-300XY工作台每个轴都有一个或两个电机，允许针对特定应用和工艺参数优化每个单独的轴。无论选择多少电机，产生的驱动力通过摩擦和刚度的中心作用，从而获得优越的几何性能和精度。

平面上的电缆管理系统_{戴斯。莱纳姆:}集成到舞台上，优化了长寿命和性能。额外的标准选项可用于额外的伺服轴或真空卡盘或其他过程气动的空气/真空管路。

的平面_{戴斯。莱纳姆:}有三种定位性能选项:-BASE， -PLUS和-ULTRA。-PLUS和-ULTRA选项可实现精度和直线度值可达±400 nm，正交度可达1弧秒。

Aerotech

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