压电扫描仪校准，显微镜应用

Physik Instrumente (PI)的P-616 NanoCube XYZ压电扫描仪基于平行运动学设计，所有3个轴只有一个移动平台，高精度和动力学，并具有电容反馈，可提供100µm的行程范围。它专为光子学对准、显微镜、3d成像、筛选、表面分析和晶圆检测等应用而设计。该定位器由PI公司的E-727数字伺服压电控制器操作，并有一个软件包，包括LabVIEW的驱动程序，微软Windows和Linux的动态库，以及MATLAB。接口包括USB、SPI、RS-232和模拟。支持的功能包括波形发生器、数据记录器、自动归零和触发I/O。XYZ工作台由陶瓷封装，预装PICMA压电驱动器驱动，具有强大的性能和可靠性。

物理仪器(PI)

www.pi-usa.us

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