用于研究和工业应用的闭环压电电机定位器

Physik Instrumente (PI)的PIHera精密闭环XY压电电机定位器配备了绝对测量直接计量电容传感器，并提供低至0.1nm的分辨率，在紧凑的封装中具有高刚度和长寿命。它们的定位精度为0.02%，可选的真空兼容性使这些紧凑的工作台非常适合需要无摩擦、无振动、高线性度定位的应用。PIHera压电工作台的耐温范围为-20至80℃，这使得它们适用于长期研究和工业应用。闭环压电工作台还被设计为重复提供纳米和亚纳米尺寸的步长，其高刚度和先进的控制算法使它们能够在几毫秒内快速移动和沉降。

物理仪器(PI)

www.pi-usa.us

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