微型线性定位器和超声波压电马达

Physik Instrumente (PI)的U-521微型线性定位器由专利超声波陶瓷电机驱动。

通过物理仪器(PI) 2016年5月21日

Physik Instrumente (PI)的U-521微型线性定位器旨在提供高分辨率的运动,以及宽动态范围的速度。与磁驱动技术相比,其显著优势在于自锁原理:一旦电机到达目标位置,它就像陶瓷制动器一样,将平台锁定到位,在零驱动电流和零发热的情况下提供极长时间的稳定性。U-521还具有紧凑的线性舞台,尺寸为35 × 35 ×15 mm。紧凑的设计允许轻松集成,即使空间有限。

除了高达200毫米/秒的高速外,低惯性还允许非常动态的启停行为,稳定时间以毫秒为单位。集成光学线性编码器提供100 nm分辨率的位置反馈。更高分辨率的版本可供原始设备制造商(oem)使用。典型的应用领域可以在工业和研究、自动微操作、样品定位或调整光学元件(如物镜和相机镜头)时找到。真空兼容版本也可用。线性工作台由一些直径从20到50毫米的小型化闭环旋转工作台补充。

物理仪器(PI)

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