线性定位工作台适用于工业、制造业应用
Physik Instrumente (PI)的L-509是一种舞台定位器,旨在提供高精度的直线运动,是专为研究和工业应用,如光束线系统,显微镜,半导体制造和光子学仪器。
Physik Instrumente (PI)的L-509是一种舞台定位器,旨在提供高精度线性运动,最小化跳动。它是专为研究和工业应用,如光束线系统,显微镜,半导体制造和光子学仪器。L-509可以处理超过20磅的有效载荷。它的行程范围为26、52和102毫米,速度可达20毫米/秒。L-509提供精度和运动的单向重复性低至0.1微米。具有抗蠕变保持架辅助的精密交叉滚子轴承保证了长寿命和最小间隙的优良导向精度。对于高精度应用,1 nm分辨率的线性编码器是可用的。
物理仪器(PI)
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