用于精密应用的纳米定位器

Aerotech公司的QNP-XY系列压电纳米定位器旨在提供分辨率、线性度、可重复性和高精度应用所需的高动态，如显微镜和光学对准。XY系列的分辨率为0.15 nm，线性度为0.007%，重复性为2 nm，达到纳米级精度。它的行程范围为100 μm至600 μm，并具有可选的闭环反馈选项，采用电容传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位架的输出，精度和重复性强。电容传感器还具有开环选项，专为要求紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不要求绝对定位精度和可重复性的应用而设计。开环设计也可用于通过外部反馈源控制压电位置的地方。

Aerotech

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