用于纳米定位系统的数字压电控制器，执行器

Physik Instrumente (PI)的E-727 3通道和4通道数字压电控制器，集成了现有的基于压电的纳米定位系统和压电驱动器。E-727提供三个额外的高分辨率模拟接口，以及更广泛的传统、高速和实时数字接口选择，如SPI、以太网、USB和RS-232。20位DAC和ADC转换器设计用于保持闭环E-727控制器以高分辨率和超低噪声工作，以及四个集成功率放大器用于工作电压为-30至130 V的多层压电驱动器。闭环纳米定位系统由电容反馈传感器、压阻传感器和传统应变计支持。除PID控制外，还实现了两个额外的用户可编程陷波滤波器，用于抑制机械系统谐振。动态数字线性化(DDL)特性旨在消除高工作频率下的非线性。

物理仪器(PI)

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