用于纳米定位的数字压电控制器

Physik Instrumente (PI) E-727数字压电控制器专为多轴纳米定位应用而设计，如超分辨率显微镜中的3-D成像，激光束转向，天文学中的图像稳定，以及用于光纤对准和半导体CD测试的快速对准应用。它具有数字高速接口，如SPI，以太网和USB以及三个额外的高分辨率模拟输入。低噪声20位DAC和ADC转换器提供高分辨率和稳定性。四个集成压电功率放大器，输出范围为-30至130 V，以及电容反馈传感器，压阻传感器和应变计的电路。数字伺服系统通过两个可编程陷波滤波器提供PID控制，通过抑制机械系统谐振获得更高的带宽。可选的动态数字线性化(DDL)固件消除了高工作频率下的相位滞后和动态非线性。应用包括纳米定位，纳米自动化，半导体技术，光子学，生物纳米技术，计量学，显微镜，微操作，包括洁净室应用。

物理仪器(PI)

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