低压真空马达
VC级系列真空电机设计用于承受低至10-6托的压力。
VC级系列真空电机设计用于承受低至10-6Torr的压力。电机的额定温度为内部130°C,外壳105°C。轴承润滑油蒸气压低于6torr。系列来在各种框架尺寸和配置,包括无刷伺服,步进,空心轴步进,转子螺帽步进。真空级步进电机或伺服系统降低机械复杂性,增加系统正常运行时间,通常用于真空炉和真空沉积系统的应用运输系统。
帝国磁学
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