半导体机生产效率与XY定位相结合

的Airglide LED晶圆系统来自Dover的Airglide可提供宽底座版本，用于额外的刚度和支持高达110磅的较大有效载荷，超过行程可达3英尺。结合扫描时的高精度和速度稳定性，Airglide系统是步进或扫描应用的免维护定位解决方案，适用于LED或半导体晶圆的激光加工。其他应用包括需要高精度步进定位移动的计量或精密成像系统。

“Airglide平台可以灵活地设置为单独的精密轴，也可以堆叠为XY组件。此外，它使用超精密的空气轴承方式提供清洁和准确的定位，结合零维护操作，最大限度地提高系统可靠性，这对高通量应用至关重要，”Dover业务发展经理John Garrity说。“用户会发现Airglide XY配置非常适合需要精确步骤和扫描时速度稳定性的应用。其运动的直线性使其成为集成到LED和半导体激光加工和检测工具中的完美平台。”

Airglide系统的直线度可达±0.5µm，补偿精度可达<1µm，双向重复性可达±0.4µm。根据有效载荷的不同，它可以以16英尺/秒的速度加速，提供40英寸/秒的最大速度，并在4到40英寸的可用行程范围内提供76牛的连续力和240牛的峰值力。该系统可以与行业标准的伺服驱动控制硬件一起运行，也可以与Dover控制解决方案一起封装，以提供定制的定位性能。

可用的选项包括完整的运动旋转和z-theta产品，花岗岩底座和花岗岩桥，可以与Airglide XY集成。当配置成垂直方向用作Z轴时，可以提供气动平衡系统。定制的气动管道和信号电缆也可用于客户支持技术或附加轴。

www.dovermotion.com

多佛

- Gust Gianos编辑，控制工程，www.globalelove.com

您是否具有本内容中提到的主题的经验和专业知识?您应该考虑为我们的CFE媒体编辑团队做出贡献，并获得您和您的公司应得的认可。点击在这里开始这个过程。