安全晶片

由于对半导体晶圆的需求超过了生产能力，集成器件技术公司(IDT, Hillsboro, Ore.)急于建造一个新的亚微米一级制造设施或“fab”。与此同时，该公司花费3000万美元升级了一个10年的设施，以提高产量，同时等待新工厂的完工。除了快速建设，IDT还需要保持在1750美元/平方英尺的预算之内——大大低于新晶圆厂平均4000美元/平方英尺的成本。为了帮助满足成本和速度的限制，在不影响洁净室规格的情况下，IDT联系了项目集成商Industra公司(俄勒冈州波特兰)，开发并安装了GE发那科自动化公司(弗吉尼亚州夏洛茨维尔)的自动化监控系统。

严格的洁净室规范有可能使新晶圆厂的建设复杂化和延长，并使生产陷入泥潭，并增加已完工设施的停机时间。为了防止这种情况，Industra在9个月的期限内安装了该系统。在项目早期，IDT和Industra讨论了控制架构和GE发那科系列90-30 plc的数量。由于施工进度较短，控制团队决定采用通用面板设计，这将是最快和最便宜的建造方法。Industra设计了一个可容纳三个cpu的面板，并在项目启动一周后向面板车间发出了制造图纸。快速的时间表迫使在面板布局、I/O布局和I/O分配上做出早期决定。

Industra在一个交错的时间表上实施了设施控制。在交货未能赶上施工期限时安装了临时设备。建设的重点是将洁净室划分为“区域”，并按照指定的顺序使它们在线。这要求设施能源中心尽早上线，空气处理机、补充空气处理机、终端设备和洁净室模块必须并行投入使用。在安装了第一个海湾的设备和仪器后，该团队很快就完成了后续的区域。检查和调试发生在一个区域，而安装发生在另一个区域。启动由系统逐个处理。

在所有系统运行后，技术人员对设备进行了初步调试。控制系统允许随着晶圆厂的不断增长和变化而进行修改和改进。这意味着在每个施工阶段，Cimplicity hmi(项目中使用的监控和数据采集(SCADA)软件)的屏幕可以实时开发。如果在扩展过程中出现问题，团队就会修改控制屏幕以容纳更多数据或控制点来解决问题。

今天，GE发那科的监控系统已经扩展到涵盖设施中的所有控制功能。除了可靠性和可伸缩性外，还实现了经济性。安装该系统的费用是传统分布式控制安装费用的三分之一。最初的项目估计为每个I/O点1200美元，包括硬件、软件、安装和工程。最初的投资已经产生了回报，使IDT Winfab成为太平洋西北地区最具成本效益和竞争力的晶圆厂之一。

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作者信息

Jim Stewart，现场服务总监，集成设备技术公司(希尔斯伯勒，俄勒冈州)和Jeff Tilleman，体育，项目工程师，Industra公司(波特兰，俄勒冈州)

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