用于三维定位精度的压电支架

Aerotech公司的QNP3系列XYZ压电定位平台在紧凑的三自由度(DoF)包中结合了亚纳米分辨率、高动力学和几何性能。它们具有40 x 40毫米的透明孔径，闭环行程可达100 x 100 x 10微米。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检查或制造应用的理想选择，其中双面部分访问需要三自由度操作。QNP3压电工作台采用平行运动弯曲和计量设计，旨在确保多轴精度，高刚度和长设备寿命。驱动器设计最大限度地减少X和Y偏航误差，同时仍然保持abbe兼容的计量系统。

z轴执行器和电容式传感器设计用于在垂直方向上以最小的几何误差提供abbe兼容反馈。QNP3阶段可提供闭环或开环反馈。电容式传感器并联计量设计直接测量定位小车输出，分辨率亚纳米级，线性误差优于0.01%，重复性为个位数纳米级。

Aerotech公司。

www.aerotech.com

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