纳米传感器设计用于振动测量,精密制造应用
Queensgate公司的NX纳米传感器采用电容微测法,旨在测量原子尺度的位置变化,用于振动测量、计量、精密制造和精密光束转向等应用。
Queensgate公司的NX纳米传感器采用电容微测法,旨在测量原子尺度上的位置变化。非接触式位置测量系统依赖于两个传感器板-一个目标和一个探头,它们组成一个平行板电容器。NX纳米传感器专为级反馈、振动测量、计量、变形测量、精密制造、漂移测量、精密光束转向和显微镜等应用而设计。NX纳米传感器的位置可以确定线性度为0.02%,带宽从50Hz到10KHz。非接触测量和非自热机制不会影响他们测量的值,这使得真正的纳米级测量成为可能。NS2000控制模块与NX纳米传感器协同工作,测量平行板电容的任何变化,并产生与目标位置差异成正比的模拟电压。
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