空气轴承定位阶段的运动控制器

Physik Instrumente (PI)的A-81x运动控制器设计用于处理1、2或4轴PIglide空气轴承定位阶段。a- 81x控制器配备超低噪声PWM驱动器，在19英寸的控制器中集成了闭环伺服控制，电机驱动和电源。架装安装设计。支持高分辨率增量式正弦/余弦输出编码器和基于BiSS-C协议的绝对编码器。空气轴承定位器的设计提供精确和无振动的运动，具有良好的速度稳定性，机械部件零磨损。它们专为高精度应用而设计，如计量、光子学校准、半导体、晶圆检测、激光营销、平板显示、精密扫描应用和无尘室应用。

物理仪器(PI)

www.pi-usa.us

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