直线轴电机舞台提供纳米精度

Nippon Pulse America SCR100舞台是一种超高精度，紧凑的单轴舞台，集成了滑动导轨，编码器和直线轴电机。据报道，sc100stage为超高性能和精度应用提供了广泛的优势。直线轴电机是一种无芯直接驱动直线电机，具有零齿槽。该公司表示，与标准步进电机和压电伺服电机相比，这可以实现更高的分辨率、速度和连续力。

sc100stage是一种移动磁铁设计，它将所有电缆和连接器定位在固定底座上。由此产生的没有任何移动的电缆是干净和紧凑的，消除了由于电缆力的运动误差。精密的地面交叉滚轮方式提供高刚度和平滑的运动。由于偏移载荷的行程从50毫米到300毫米，它们能够支持更高的扭矩水平。非接触式直线轴电机和光学线性编码器在舞台内是独立的，使其成为一个低调紧凑的解决方案。内置的非接触式光学线性编码器具有从1微米到10纳米的数字输出分辨率。亚微米分辨率导致了高精度的阶段，这是激光测试的最佳性能。

日本脉冲直线轴电机显然已经获得了服务非常苛刻的声誉，超高精度的运动控制应用在一些市场。这些市场包括计量学、光谱学、数字病理学、显微镜、磁盘驱动器、半导体制造、生物医学、制药、生命科学、细胞成像、颗粒分析、医疗设备、支架制造、国家实验室、光子学/电信、航空航天和国防以及基因组学。

SCR100级具有额外的好处，任何标准的数字伺服驱动器都可以驱动SCR100级。任何两个SCR级都将直接螺栓连接在一起，形成非常坚硬、紧凑的X-Y级。两个可控硅级可以作为一个X-Y级组合提供，以确保真正的正交定向。SCR100-50, 100纳米分辨率，有选项包括DI水或真空兼容，开放框架，和自定义配置。

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