线性驱动器，分辨率在10-9米范围内

就是查。穆格公司谢弗磁学部门的一种新型线性驱动器声称具有2.5纳米(10-9米)分辨率的精确和可重复的位置控制。一种获得专利的槽管结构传感器是获得线性微定位的关键。换能器与旋转电机相结合(坚固的步进电机，精确的丝杠和齿轮减速器)，以实现紧凑，坚固，节能的包装。

该装置由两个独立的可控级组成，后面的粗级可提供10mm的总行程。据制造商介绍，前细级“允许在粗级10毫米行程内25微米范围内的任何地方进行定位”。细级和粗级也可作为单独的产品。

该装置已与镜面定位系统以及卫星和地面望远镜一起使用。操作温度跨越低温范围(从20k)到室温。

穆格公司，谢弗磁学部门
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