激光编码器具有picometer分辨率

霍夫曼地产，伊利诺伊州rle20光纤激光编码器系统英国将激光干涉仪从复杂的科学仪器转换为简单的生产设备，提供皮米分辨率，差分测量和十亿分之一激光频率稳定性。光纤功能将激光直接传送到测量轴上，无需多个远程分束器、折弯器和可调支架。编码器用于X-Y定位系统。

雷尼绍的光纤激光编码器提供picometer分辨率，差分测量和十亿分之一激光频率稳定性。

据报道，该系统和相关组件提供了亚纳米非线性和38皮米的分辨率能力，据说可以为精密运动系统制造商和半导体设备原始设备制造商提供光纤解决方案，以满足晶圆检测、光刻和其他良率提高工具的日益严格的要求。激光单元通过3米光纤电缆连接到探测器头。只需将两个部件对准，即可形成复杂的轴向定位系统，缩短安装时间，减少设备占地面积。

数字输出信号提供高达10 nm的分辨率;模拟信号可与雷尼绍的RGE插补器或新的RP120并行接口结合使用，分别提供0.39 nm和40皮米的分辨率。该接口对正弦输入进行4096倍的插值，并产生36位并行位置输出数据。RP120板易于集成到基于总线的架构中，每个RP120板包含一个开关包，允许为接口分配唯一的地址，多轴系统可配置多达七个轴。

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珍妮Katzel，资深编辑

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