红外温度传感器可以看到真空室

Calex Electronics公司的PyroMini 0.9红外高温计可以通过石英或玻璃窗口观察真空室，并测量硅片表面的温度。温度范围350℃~ 2000℃，低温350℃~ 800℃机型专为硅片加工中的温度监测和控制而设计。稳定和可重复的测量可以连续长时间进行。可选的MicroSD卡允许在每秒读取一次的最快采样速率下记录超过一年的数据。微型传感头由不锈钢316制成，密封等级为IP65。电缆长度可达30米。电子模块有一个可选的触摸屏，设有视觉报警指示灯以及完整的传感器配置。可用的输出包括4-20 mA或RS485 Modbus输出，它有两个报警继电器的触摸屏模型，可以直接连接到报警设备，而不需要单独的跳闸放大器。

Calex电子

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