光学特高压编码器

Resolute UHV是雷尼绍的超高真空兼容读头，为线性和旋转应用提供真正的绝对位置反馈，亚微米精度和1纳米分辨率。雷尼绍表示，这是世界上第一个真正的绝对光学特高压编码器。Resolute UHV编码器的新系列由清洁的真空兼容材料和粘合剂构成，可提供低放气率和经过验证的清洁残余气体分析(RGA)，使其适用于需要真空兼容性为10-10 Torr的高性能，半导体和科学应用。

超高真空的变种确定位置后立即打开，不需要任何运动或备用电池。瞬间换向意味着轴在功率损失后立即处于控制之下。这消除了未经检查的移动或碰撞的风险，这在晶圆处理等应用中是必不可少的优势，在这些应用中，安全提取高价值晶圆至关重要。

通过内置的独立位置检查算法，可以主动检查每个读数，确保在到达控制器之前标记任何潜在问题，从而确保安全性。Resolute UHV使用带有CRC(循环冗余校验)的纯串行通信，从而消除了对辅助1 Vpp信号的需求，提供更高的抗噪声能力并检测数据损坏。Resolute UHV与工业标准控制器兼容。

所有的特高压编码器都提供了一个rfi筛选，特高压兼容电缆。它们在清洁的条件下生产，并在特别设计的包装中运输，以避免污染。

Resolute特高压系统可用于线性和旋转位置反馈，并且由于Resolute系统使用单轨道刻度代码，因此每个安装都紧凑，设置公差宽，可以快速，轻松地安装和长期运行。所有规模格式是无涂层，可以进行专业清洗和脱脂，如果需要的话。

设计人员可以选择不锈钢或ZeroMet低热膨胀合金的各种线性刻度，精度优于±1 μ m，长度可达1.13 m。安装可以是不干胶，机械或轨道安装。自粘鳞片也被证明具有清洁的RGA光谱。不锈钢旋转环具有大通孔和专利锥度安装快速，容易和精确的调整偏心，同时最大限度地减少轴的准备成本。

英国公司。

www.renishaw.com

雷尼绍将在IMTS 2012上展出E-5530和N-650。www.imts.org

- Chris Vavra编辑，控制工程，www.globalelove.com

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