声波流量控制器

Mach-One质量流量控制器使用声波流量技术来提高性能、稳定性和可靠性。该产品在100:1的流量调节范围内提供一致的±0.5%的读数精度。它测量的流量范围从0.4 sccm到1000 sccm。每年0.25%的稳定性减少了重新校准和维修停机时间。