介质流量控制器

Sierra Instruments宣布在全球推出Smart-Trak 50系列介质流量控制器。新的质量流量控制器将屡获殊荣的Smart-Trak 50系列的最大流量范围从50 slpm增加到200 slpm。Sierra的新型200 slpm控制器专为需要更高质量流量控制能力的oem设计。

Sierra Instruments总裁Matthew J. Olin表示，50系列介质流量控制器是去年年初为“需要精确氩气流量控制的炉吹扫应用的大批量OEM客户”开发的。他们一直在熔炉中使用50系列来稳定气体质量流量和温度。”测量重复性提高了产率。

50系列基于Sierra旗舰Smart-Trak 100系列中相同的核心传感器，LFE和阀门技术。50系列的标准精度为满量程的+/- 1.5%，适用于几乎所有常见的半导体吹扫和载气。灵活而强大的直接作用无摩擦悬停控制阀通过最大限度地减少泄漏，同时提供+/- 0.25%的重复性，使其在竞争中脱颖而出。

与CMOS和MEMS流量传感器的许多湿式部件相比，Sierra使用其先进的316L不锈钢铂缠绕毛细管传感器技术来提供最高的可靠性，可重复性和稳定的精度。

Smart-Trak 50系列提供了灵活性和简单的操作。模拟和数字输入和输出都可用，使50系列能够与旧的模拟系统或最新的多滴数字工具一起工作。零点和量程的现场调整使校准所需的小调整与现场工艺条件保持一致。

www.sierrainstruments.com

塞拉仪器

- Chris Vavra编辑，控制工程，www.globalelove.com

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