半导体用高压仪表

基思利仪器公司介绍他们的2657A型大功率系统源计仪器。2657A型为该公司的2600A系列系统源表系列精密源测量单元增加了高电压。总之，这些仪器允许更广泛的功率半导体器件和材料。2657A内置3,000 V, 180 W电源，可为被测设备提供比最接近的竞争系统高出五倍的功率，且成本显著降低。2657A型内置的精密、高速6-1/2位测量引擎可实现1fA(飞安)电流测量分辨率，以支持下一代功率半导体器件的低漏要求。

2657A型针对高压应用进行了优化，例如测试功率半导体器件，包括二极管，场效应管和igbt，以及表征氮化镓(GaN)，碳化硅(SiC)等新材料和其他化合物半导体材料和器件。它也可用于表征高速瞬态，并在高达3,000V的各种电子设备上进行击穿和泄漏测试。

2657A型还提供灵活的四象限电压和电流源/负载，以及精密电压和电流表。它将多个仪器的功能结合在一个完整的机架外壳中:半导体表征仪器，精密电源，真电流源，6-1/2位数DMM，任意波形发生器，电压或电流脉冲发生器，电子负载和触发控制器，并通过基思利的TSP-Link技术完全扩展为多通道紧密同步系统。型号2657A可以输入或吸收高达180W的直流功率(±3,000V@20mA，±1500V@120mA)。2657A型还提供1fA分辨率，即使在高达3000V的电压下，也可以进行快速，准确的亚皮安测量。

基思利仪器有限公司

www.keithley.com

- Chris Vavra编辑，控制工程，www.globalelove.com

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