数字质量流量控制器

Bronkhorst High-Tech B.V.金属密封质量流量计和控制器专为满足半导体制造商以及其他高纯度气体应用的要求而设计。仪器具有高表面光洁度组件和模块化结构，金属对金属密封，消除污染源，确保长期密封性。氮气流量范围开始在0.1至5 sccm，最大0.6至100 slm的标准单位。更高的流量可根据要求提供。这些新产品配备了机载数字信号处理，并提供快速响应，稳定时间短至500毫秒。标准连接是RS-232输出和模拟I/O;可选接口还可以支持Device-Net, Profibus DP, Modbus-RTU或Flow-Bus协议。

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