Trikon订购了Cimetrix连接软件

盐湖城，- - - - - -Cimetrix公司。9月4日，Trikon Technologies宣布选择其CIM300和CIMConnect用于其300 mm等离子体蚀刻、化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)工艺工具。该软件将为Trikon用于硅集成电路、iii - v和光波导生产的所有300毫米工艺工具提供基于标准的通信。

Trikon工程副总裁John Macneil表示:“我们的工程师不断寻找新的方法，为客户提供最简单、最智能的解决方案，以应对行业挑战，同时提高可靠性和降低拥有成本。”经过全面评估，我们选择了Cimetrix的通信软件产品作为我们的工艺工具。”

Cimetrix执行副总裁David Faulkner表示:“过渡到300毫米晶圆制造依赖于工艺工具与晶圆厂制造执行系统在多个层面进行沟通的能力。“如果没有这个关键环节，工具就无法提供将工具集成到工艺线上所需的必要信息，也无法为工程师提供数据，从而通过提高工具效率来提高产量。我们的软件已在每个主要的300mm晶圆厂中得到验证，可以提供从工艺工具到制造环境的可靠通信线路。”

CIM300支持SEMI标准E39、E40、E87、E90和E94，可与现有的GEM接口配合使用。其模块化架构允许设备供应商灵活地实施一种或多种连接标准。CIM300使用动态链接的库，而不是标准的c类型库，后者减少了集成时间，并且能够在标准更改或软件升级时快速发展。

CIMConnect提供SECS/GEM工具连接协议。该软件设计用于预测网络应用程序，并具有允许将信息发布到互联网、内部网或外联网的基础设施，这将促进电子诊断。该技术将使设备制造商能够获得有关工具性能的关键数据，并提高对潜在困难的响应能力，减少整体停机时间。

控制工程日报新闻台
Gary A. Mintchell，资深编辑
gmintchell@reedbusiness.com

您是否具有本内容中提到的主题的经验和专业知识?您应该考虑为我们的CFE媒体编辑团队做出贡献，并获得您和您的公司应得的认可。点击在这里开始这个过程。