确保fab工具诊断/维修的远程数据安全

英维思系统公司(Invensys Systems Inc.)旗下的业务部门Wonderware和ILS Technology正在研究一项集成战略，以使半导体设备供应商能够安全远程设备数据采集和分析。

该集成策略结合了Wonderware的ArchestrA应用平台和ILS Technology的安全远程监控应用，包括eCentre、ServiceNet和Flexible Security Wrapper。提出的安全远程访问解决方案将使工具供应商的服务工程师能够远程安全地访问全球任何工厂的工具，进行诊断和维修分析。

通过接口C的安全远程访问和接口A的高速工具数据采集相结合，使工具制造商能够诊断工具性能趋势，并使用存储在ArchestrA应用平台实时数据库中的详细历史数据获得统计数据。专门的设备工程系统或先进的过程控制应用程序可以将工具数据分析的结果存储在该数据库中，供工具服务工程师稍后访问。其结果是提高了晶圆厂的刀具性能，降低了刀具制造商的服务成本。

ArchestrA技术和接口A的结合使半导体晶圆厂能够将工具数据移动到实时SQL数据库中。Wonderware的ArchestrA应用平台使用以工厂为中心的对象模型，以软件对象的形式捕获、封装、部署和管理晶圆厂工艺知识。

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大卫·格林菲尔德，《控制工程》编辑部主任
dgreenfield@reedbusiness.com

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