新型真空表控制器

科罗拉多州博尔德-MKS Instruments的真空产品组发布了其新的HPS pdr9000 -一种真空表控制器，将为对流和冷阴极换能器提供电源和读出。其紧凑的尺寸，便携性和易于安装允许它分析问题，如压力差异。它也可以用于泄漏检测，因为这两个传感器都是气敏的，在真空系统中定位介质到细微泄漏。真空测量范围从3 × 10-10到1,000 Torr。真空表也可用于半导体系统，因为它的快速响应泵降;可重复测量和多种通信，以改善过程控制;坚固耐用的传感器灯丝设计，可靠性高;以及用于恶劣工艺环境的传感器。MKS仪器有限公司

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