MKS收购Wenzel的mems真空测量技术

安多佛,马MKS Instruments Inc.最近通过收购私人控股的Wenzel Instruments (Hallebaek, Denmark)及其微机电系统(MEMS)技术，扩大了其真空测量产品组合。交易条款没有披露。

Wenzel的技术包括用于真空相关应用的新开发的固态mems真空传感器。其中包括半导体、平板和数据存储、生物技术和制药行业的气体制造过程中的负载锁控制。

MKS真空产品集团副总裁兼总经理比尔•斯图尔特(Bill Stewart)说，目前市场上的大多数真空计都是基于几十年前开发的技术。“当今先进的制造工艺需要在更小的占地面积下具有更高精度和更快响应的过程控制传感器。通过获得创新的微机械皮拉尼和压电传感器技术，我们正在扩大我们的真空计产品，以满足这些需求。”

例如，通过收购Wenzel, MKS可以增加其HPS产品线，包括用于大气传感的压电传感器和用于粗到中真空测量的超紧凑型MicroPirani固态导热真空计。MicroPirani传感器的小尺寸使其能够与固态压电传感器集成，从而创建一个双传感器传感器，能够测量从大气压以上到高真空的宽动态范围。此外，MKS已将MEMS传感器集成到其先进的仪器仪表产品中。

MKS提供测量、控制、电源和监控半导体和其他先进制造工艺环境参数的产品。其产品用于制造半导体;用于平板显示器、光学和磁存储产品、建筑玻璃和光电产品的薄膜涂料;还有医疗设备。

控制工程日报新闻台
吉姆·蒙塔古，新闻编辑
jmontague@reedbusiness.com

您是否具有本内容中提到的主题的经验和专业知识?您应该考虑为我们的CFE媒体编辑团队做出贡献，并获得您和您的公司应得的认可。点击在这里开始这个过程。