用于超低气体流量应用的微型传感器

创新传感器技术公司(IST)开发了新型MFS02微流量传感器，该传感器利用薄膜技术将铂微加热器和温度传感器层放在超敏感聚合物膜上。该公司表示，这种新型传感器能够在0.001至2m /s(高达50m /s)的范围内测量气体的热质量流，芯片温度范围为-40至+150°C。

MFS02采用与IST的FS系列流量传感器相同的薄膜结构理念，采用特殊的玻璃基板和超薄聚合物膜，以实现极高的灵敏度。IST认为该聚合物具有出色的热、机械和化学性能，聚合物膜的导热性降低，从而实现了更好的热对比，从而提高了灵敏度。此外，传感器的玻璃基板允许更高的工作温度，使得测量更大的流量成为可能。

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IST的微流量传感器允许客户指定尺寸和电阻布局，以适应自己的应用。MFS02具有坚固耐用的设计，非常适合焊接，导电粘合或电线粘合。传感器元件可以作为组件安装在电子PCB或其他载体上，非常适合安装在压差应用的旁路流组件中。评估工具包可用于用户测试。

看一个简单得多的演示热质量流技术在地下室的录像里控制工程YouTube频道。

彼得·韦兰德编辑，pwelander@cfemedia.com

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