真空室的质量流量控制器

Alicat Scientific的MCE和MCV系列质量流量控制器旨在确保真空室中的最佳涂层环境，并在涂层和溅射过程中保持产品的完整性。mce系列和mcv系列可用于取代传统和停产的仪器，并精确控制气体流速低至0至0.5 sccm满量程或高达0至20 slpm满量程，控制响应时间为50至100 ms。质量流量控制器在通用12-30 Vdc电源上运行，单元可以安装在任何方向，甚至颠倒，无需重新校准，进一步简化了安装。预编程校准98种气体，MCE和MCV测量质量流量，体积流量，绝对压力和温度，全温度和压力补偿。单位可以通过仪器键盘直接编程或远程通过RS-232 (RS-485也可用)。MCE和MCV采用专利层流压差(DP)技术，提供NIST可追溯认证，并带有CE标志。

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