质量流量控制器监控多个变量

布鲁克斯仪器发布了新的b系列质量流量控制器是一组质量流量产品，设计时对压力和温度的波动不敏感。建立在一个标准的1.125英寸。Brooks说，b系列提供了一个紧凑的流量测量和控制解决方案，消除了对昂贵的温度和压力控制设备和系统的需求。

Brooks Instrument的市场总监Steve Kannengieszer说:“b系列在气体质量流量控制方面树立了新的标准。“无论您是将气体输送到CVD(化学气相沉积)室，化学研究反应器，燃料电池测试台，还是任何其他重要的流量控制应用，您的结果质量仅与质量流量控制器的性能一样好。b系列旨在最大限度地减少气体流动不准确的来源，为我们的客户提供准确、快速响应、稳定和强大的抵抗压力和温度波动引起的流量变化的能力。”

b系列主动测量管路压力并调节控制阀，以稳定因压力波动而产生的流量和流量信号变化。此外，每个b系列质量流量控制器的输出特点是在设备的整个工作温度范围内，允许在任何过程或环境温度条件下测量和控制精度。内部自诊断例程会持续检查设备的健康状况，并在出现诊断故障时在接口上闪烁告警代码。

另请阅读:分析关键流量测量。

-由过程工业编辑Peter Welander编辑，PWelander@cfemedia.com，
控制工程过程仪表与传感器月刊
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