双光束，高分辨率显微镜

广达3D FEG是FEI公司广达家族的最新成员。高分辨率，低真空SEM/FIB(扫描电子显微镜/聚焦离子束)被创建用于3D材料表征，失效分析和过程控制。DualBeam仪器在一个集成系统中具有三种工作模式:高真空，低真空和ESEM。(环境扫描电子显微镜)ESEM模式可以收集任何样品的数据，无论温度，湿度和污垢水平如何，并通过实时记录来表征原位动态实验。该仪器的65 nÅ大电流离子束能力允许非常快速的铣削和精确的横截面，以揭示地下结构和特征。

www.fei.com/quanta3dfeg

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