伯克利过程控制公司获得第三项美国专利
伯克利过程控制公司(Berkeley Process Control, Inc.) 11月5日宣布,其自动校准技术的第三项美国专利已经获得批准。
里士满,加州伯克利过程控制公司(Berkeley Process Control, Inc.) 11月5日宣布,其自动校准技术的第三项美国专利已经颁发。该专利以伯克利大学早期的知识产权为基础,描述了该公司的自学机器人搬运系统。
“这第三项专利将Autocalibration技术的适用性扩展到晶片载体和300mm FOUP缓冲器,”Berkeley总裁Paul Sagues说。缓冲器用于最大限度地提高半导体制造工具的生产率。这种缓冲器中的自动校准技术加快了调试和维护速度,减少了停机时间,降低了总拥有成本。”
伯克利的自动校准技术消除了半导体工具安装,配置和维护期间所需的机器人和龙门架的耗时和主观手动校准。
利用伯克利最新的第五代运动和机器控制平台BXi以及各种特定应用方法,自动校准技术允许机器人或龙门定位系统对象,而无需操作员或技术人员的帮助。传统的手动校准需要一名特别合格的技术人员物理侵入超清洁半导体工具,对其进行主观校准。
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